Vibrationen hinten rechts beim beschleunigen

Hallo erst mal an alle.
Ich habe ein Problem mit meinem e39 525d Touring. Der Wagen hat jetzt seine 285000km runter und hat mich in der Vergangenheit nie im Stich gelassen, aber jetzt macht er Zicken. Das äußert sich so das, wenn ich im dritten Gang aus niedrigen Drehzahlen beschleunige, sich bei ungefähr bei 2500 Touren erst ein leichtes vibrieren hinten rechts bemerkbar macht welches dann hin und wieder sehr stark wird und das ganze Auto anfängt zu zittern. Ich war auch schon damit in der Werkstatt, aber dort konnte nichts offensichtliches festgestellt werden. Das Differenzial ist in Ordnung und nichts ausgeschlagen genau so die Antriebswelle und die Lager. Vieleicht hat einer von euch schon mal Erfahrungen damit gemacht oder weiß was das sein könnte und kann mir weiter helfen.
Ich dank schon mal für die Antworten.